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Kundenhintergrund
Das Unternehmen ist auf die Herstellung von Fotoresists und elektronischen Spezialgasen für Halbleiter spezialisiert. Der Ozonoxidationsreinigungsprozess in seiner Fabrik erfordert eine stabile Versorgung mit hochreinem Sauerstoff (≥99,2%), und die Ausrüstung muss den südkoreanischen Sicherheitsstandards für Industriegase und den staubfreien Produktionsanforderungen der Halbleiterindustrie entsprechen.
Kernprobleme
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Die ursprüngliche Flüssigsauerstoffversorgung hat Transportverluste (ca. 5%) und ist stark von den Schwankungen der internationalen Flüssigsauerstoffpreise betroffen, was zu einer unzureichenden Versorgungsstabilität führt;
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Die Herstellung von Halbleitermaterialien stellt extrem hohe Anforderungen an die Sauerstoffreinheit, die den Partikelgehalt ≤ 0,1 μm kontrollieren und Ölverschmutzung eliminieren muss;
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Die Fabrik hat begrenzten Platz und benötigt ein kompaktes Gerätedesign, während sie die strengen Umweltemissionsanforderungen Südkoreas erfüllt.
Lösung
GNEE stellte ein Set eines 800 Nm³/h hochreinen VPSA-Sauerstoffsystems bereit, das eine kundenspezifische Lösung aus "ölfreiem Prozess + mehrstufiger Reinigung" anwendet:
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Importierte ölfreie Luftkompressoren werden ausgewählt, kombiniert mit dreistufigen Filtern (Präzisionsfiltration + Aktivkohleadsorption + hocheffiziente Ölabscheidung), um sicherzustellen, dass der Partikelgehalt des Sauerstoffs weniger als 0,05 μm und der Ölgehalt ≤ 0,001 mg/m³ beträgt;
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Hocheffiziente Lithium-basierte Molekularsiebe und eine Doppeltturmadsorptionsstruktur werden eingesetzt, und durch die Optimierung des Adsorptions-Desorptions-Zyklus wird die Sauerstoffreinheit stabil bei 99,3 % - 99,5 % gehalten;
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Die Ausrüstung verwendet ein modulares, integriertes Design, und ihre Stellfläche ist 40 % kleiner als die herkömmlicher Ausrüstung, was den Raumanforderungen der Fabrik entspricht.
Anwendungseffekte
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Stabile Versorgung: Der Vor-Ort-Sauerstoffproduktionsmodus "Bedarfsgerechte Produktion und sofortige Nutzung" wird realisiert, wodurch die Flüssigsauerstoffversorgung vollständig ersetzt wird. Die jährlichen Transportverlustkosten werden um mehr als 300.000 US-Dollar reduziert, und die Sauerstoffreinheitsschwankung beträgt ≤ 0,1 %;
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Prozessverbesserung: Hochreiner Sauerstoff erhöht die Fotoresist-Reinigungseffizienz um 15 %, und die Produktausbeute steigt von 96,2 % auf 98,5 %, wodurch die Zertifizierung der Lieferkette von Samsung Electronics erhalten wird;
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Konformität und Energieeinsparung: Die Ausrüstung hat die relevanten Zertifizierungen bestanden, wobei die Abgasemissionen unter den südkoreanischen Umweltschutzstandards liegen. Der spezifische Sauerstoffstromverbrauch beträgt 0,35 kW·h/m³, was 8 % niedriger ist als bei lokalen Geräten in Südkorea.
Neben VPSA-Sauerstoffgeneratoren produzieren wir auch PSA-Sauerstoffgeneratoren, Lagertanks, Wärmetauscher und andere Produkte. Wenn Sie sich für VPSA-Sauerstoffsysteme oder andere Produkte interessieren, senden Sie bitte eine E-Mail an info@gneeheatex.com. Wir freuen uns sehr, Ihnen zu dienen.
